数据更新时间
2026-05-12
按“晶圆”筛选，展示 9 条相关能力（含该机构旗下分支机构）。
按标准归类为 1 个标准，每个标准下方直接显示可检测项目，点击可展开全部。
SEMI E45-1101 (Reapproved 0307)
气相分解-全反射X射线荧光光谱法(VPD/TXRF)、气相分解-原子吸收光谱法(VPD/AAS)或气相分解-电感耦合等离子体质谱法(VPD/ICP-MS)测定微环境中无机污染物的试验方法 SEMI E45-1101 ( 0307)
检测项目：表面污染物（钠）、表面污染物（钙）、表面污染物（铁）、表面污染物（铜）、表面污染物（铝）、表面污染物（镍）、表面污染物（锌）、表面污染物（钾） 等 9 项，点击展开全部
检测对象：单晶硅晶圆