数据更新时间
2026-05-12
按“抛光”筛选，展示 21 条相关能力（含该机构旗下分支机构）。
按标准归类为 9 个标准，每个标准下方直接显示可检测项目，点击可展开全部。
GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片
检测项目：直径测量、表面粗糙度、X射线双晶摇摆曲线半高宽、多型、参考面结晶学取向、位错密度、位错类型和分布、电阻率
检测对象：微电子材料
GB/T 12964-2018
硅单晶抛光片
检测项目：硅抛光片氧化诱生缺陷、电阻率、径向电阻率变化、导电类型、弯曲度、翘曲度、直径测量
检测对象：微电子材料
GB/T 4058-2009
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
检测项目：硅抛光片氧化诱生缺陷
检测对象：微电子材料
SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
检测项目：表面粗糙度
检测对象：微电子材料
GB/T 43313-2023
碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
检测项目：微管密度
检测对象：微电子材料
硅抛光片表面质量目测检验方法
检测项目：表面质量
检测对象：微电子材料
SJ/T 11504-2015
碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
检测项目：表面质量
检测对象：微电子材料
GB/T 19921-2018
硅抛光片表面颗粒测试方法
检测项目：表面颗粒
检测对象：微电子材料
SJ20640-1997
红外探测器用锑化铟单晶片规范
检测项目：抛光片厚度
检测对象：光电子材料